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产品功能
位移及角度变化的单独测量或同步测量，最多可实现六轴联动。
系统特点
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该系统为微型双频激光干涉仪，紧凑型设计，激光源与数据处理器集中在一个控制盒内；
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外差式激光器；
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多种小型的干涉镜供用户选择；
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系统安装方便，光路调整简单；
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光纤耦合器附件灵活多样，防护等级为I级；
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干涉镜亦适合在高真空环境下使用；
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根据用户的要求，可提供个性化测量解决方案；
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最高采样速度40MHz；
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数字式可调分辨率（80nm/40nm/20nm/10nm），A-quad-B脉冲信号；
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模拟量输出信号：正弦、余弦、-正弦、-余弦；
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常数上下计数器2 –Wire（0°/90°）（可选）。
技术参数
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型号ZLM900-LSI |
使用AE950高分辨率数据处理器 |
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真空中HE NE激光平均波长 |
632.8nm |
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激光器 |
外差式单纤维单光束干涉仪 |
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动态测量最大速度 |
4m/s |
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测量方式 |
单轴或多轴实时同步测量 |
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光束最大轴路 |
6轴 |
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标准分辨率 |
1nm |
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精度 |
优于50nm（使用高精度环境补偿器） |
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其他 |
3D模式，系统调整简单 反射镜尺寸小，带磁性夹具 |
应用光路图
位移测量的系统构成
位移及角度同步测量的系统构成
机床行业的应用
部件选择
英文样本资料
JENAer catalog.pdf
