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反渗透纯水系统根据不同的源水水质采用不同的工艺。一般自来水经一级反渗透系统处理后，产水电导率＜10μS/cm，经二级反渗透系统后产水电导率＜5μS/cm甚至更低，在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备可以制备超纯水，使电阻率达到18兆欧姆(电导率=1/电阻率)。
渗透法分离过程有如下优点：
①不需加热、没有相变；
②能耗少；
③设备体积小、操作简单，适应性强；
④对环境不产生污染。
