偏移寿命漂移值业内居先,低于0.5mg。
低噪声,能够准确检测微小动作。
具备良好的抗振动和抗温度变化能力,可在恶劣环境下稳定运行。
配备可实时监控传感器状态的自诊断功能。
与村田以往产品采用相同尺寸和输出方式,便于客户减少额外设计工时。
日本京都--(美国商业资讯)--株式会社村田制作所 (TOKYO:6981)(以下简称“村田”)开发出了面向工业设备的数字三轴MEMS(1)加速度传感器“SCA3400系列”(以下简称“本产品”)。本产品在长期使用下的传感器输出变化值(偏移寿命漂移(2))低于0.5mg(毫伽),属于业内居先水平(3)。本产品具备高度耐久性,有助于提升桥梁、建筑等结构物劣化监测设备的可靠性。预计将于2025年10月开始量产。
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(1) MEMS(微型电子机械系统):通过对硅片等材料的精细加工,制造出传感器结构和电子电路的技术。
(2) 偏移寿命漂移:指传感器在使用期间输出数值发生偏移的现象。该数值越高,偏移越大。
(3) 数据来源:村田,截至2025年6月23日。
随着工业设备的数字化,自动检测结构物和机械设备等异常或损伤、实现预测性维护的需求不断增长。通过传感器进行变化检测是实现自动化的重要方式之一。尤其在对桥梁、建筑等进行结构健康监测时,需要进行长期监控,因此,能够准确捕捉结构物微小形变或变化的加速度传感器性能,会直接影响整个监测系统的可靠性。然而,传统能够检测细微倾斜的高精度加速度传感器,其偏移寿命漂移值较高,使用时间一长,基准位置偏移就会增大,导致难以准确监测结构物的劣化。
对此,村田通过自主研发的MEMS工艺与新型电路设计,开发出了既可检测微小倾斜、又将偏移寿命漂移值控制在0.5mg以下的本产品。借此,有助于提升结构健康监测等系统的长期高精度测量能力。本产品还具备出众的抗振动和抗温度变化能力,即使在恶劣环境下的工业设备中,也可实现长期稳定使用。
今后,村田将继续致力于高精度加速度传感器的研发,满足多样化的市场需求。
主要特点
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偏移寿命漂移值业内居先,低于0.5mg。
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低噪声,能够准确检测微小动作。
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具备良好的抗振动和抗温度变化能力,可在恶劣环境下稳定运行。
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配备可实时监控传感器状态的自诊断功能。
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与村田以往产品采用相同尺寸和输出方式,便于客户减少额外设计工时。
主要参数
尺寸(长×宽×高)
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8.6 x 7.6 x 3.3 mm
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工作温度范围
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-40℃ ~ +85°C
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加速度测量范围
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±1.2g, ±2.4g (可选)
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灵敏度
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15,000 LSB/g
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噪声密度
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20 µg/√Hz
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偏移寿命漂移(典型值)
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≤ 0.5mg (X,Y), ≤ 2mg (Z)
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灵敏度寿命漂移(典型值)
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±0.02 % (X,Y), ±0.2% (Z)
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关于村田制作所
村田制作所是一家全球性的综合电子元器件制造商,主要从事以陶瓷为基础的电子元器件的开发、生产和销售业务。致力于通过自身开发积累的材料开发、工艺开发、商品设计、生产技术以及对它们提供支持的软件和分析评估等技术基础,创造独特产品,为电子社会的发展做出贡献。
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宣传部 Keisuke Tsuboi
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【株式会社村田制作所】 面向工业设备的数字三轴MEMS加速度传感器
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