JEOL：激光扫描电子显微镜系统“LazEdge”正式上市

出配备激光加工系统的扫描电子显微镜（SEM）系统“LazEdge”，并将于2026年5月25日开始销售。
聚焦离子束系统（FIB系统）等截面制备仪器在科研院所、大学及工业领域的科学技术领域中得到广泛应用。近年来，市场对能够高速加工大面积样品，同时实现高质量加工表面的系统需求日益增长。“LazEdge”是一款将JEOL的扫描电子显微镜（SEM）与Hamamatsu Photonics K.K.的专有激光技术相结合的仪器，可在电子显微镜的样品室内部进行激光加工。
该系统能够将通过高速、大面积加工制备的高质量截面样品，在不接触外部环境的情况下，无缝转移至后续分析环节，例如扫描电子显微镜（SEM）观察、元素分析和晶体取向分析。因此，它能够满足多种分析需求，包括金属样品分析、需要隔绝空气的电池分析，以及需要高速截面制备的半导体失效分析。

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[主要特性]

1. 在样品室内进行高质量截面制备
   通过将激光加工系统集成到扫描电子显微镜（SEM）中，LazEdge能够利用其专有的光学系统（该系统能够对激光束进行空间相位调制），在样品室对大面积样本进行高速高质量的截面制备，同时显著减少激光诱导周期性表面（LIPSS）结构。
2. “LazEdge Shield”实现稳定、整洁加工
   专有的屏蔽技术“LazEdge Shield”可最大限度减少加工过程中产生的碎屑飞溅，从而实现清洁加工，避免对探测器、色谱柱和样品室壁造成污染。此外，该激光系统可同时聚焦于样品加工位置和屏蔽罩上的激光照射位置。该技术实现了同步进行加工与屏蔽罩清洁（防污染）。这些技术在始终保持稳定功率的同时，提供了高质量的截面制备。
3. 无缝、高通量的加工与观测
   通过在扫描电子显微镜（SEM）样品室内部安装屏蔽罩，并在样品室内进行加工处理，可以实现加工与观察的无缝衔接，并提高通量。例如，在背散射电子衍射（EBSD）测量中，仅通过激光加工即可获得质量足以满足EBSD测量的截面。通过自动重复加工和测量过程，还可以实现三维EBSD数据的采集。

[销售目标] 10台/年

相关链接
产品信息：LazEdge激光扫描电子显微镜系统
https://www.jeol.com/products/scientific/sem/lazedge.php

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
Izumi Oi，总裁兼首席执行官
（股票代码：6951，东京证券交易所主板）
www.jeol.com

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LazEdge激光扫描电子显微镜系统